集成半导体芯片的多波长传感器

集成半导体芯片的多波长传感器

一、集成半导体芯片的多波长传感器(论文文献综述)

白卓娅[1](2021)在《基于超快光学技术的实时测量系统研究》文中研究说明实时测量仪器是奠定工业、科学和医疗等一系列应用的基础平台。当今社会对数据带宽不断增长的需求正推动着通信行业提高组件和系统的工作频率,因此,对于能够在短时间内执行快速检测或诊断的实时测量仪器的需求也在快速增长。尽管短光散射(频闪)可以作为一种有效方法来提供瞬态事件的宝贵信息,但自然界中存在的大量瞬态信息和罕见事件都具有瞬时和不确定性,因此仍需要借助具有足够高分辨率和足够大存储长度的真正的实时测量仪器才能将其捕获。基于色散傅里叶变换原理的光学时间拉伸技术是一种新兴的数据采集方法,它克服了传统电子模数转换器的速度限制,能够以每秒数十亿帧的刷新率完成连续超快的单次光谱、成像以及太赫兹等测量,且不间断地记录上万亿个连续帧。该技术开辟了测量科学的新前沿,揭示了非线性动力学,如光流氓波、孤子分子以及相对论电子束等瞬态现象。此外,通过与人工智能相结合,它还创造出多种用于传感和生物医学诊断等应用的新型实时测量仪器。本论文结合所参与的国家自然科学基金等项目,针对基于超快光学技术的实时测量需求,开展了一系列深入的理论以及实验研究,扩展了超快光学技术在实时器件表征、瞬时频率测量以及传感方面的应用,取得的主要创新及成果如下:1.提出并验证了一种基于光学时间拉伸技术的实时器件表征系统,该系统使用相位分集技术和时间拉伸数据采集方法,消除了仪器中存在的色散惩罚问题,并扩展了测量系统的有效带宽。系统具有2.5 Ts/s的等效采样率、27 ns的超快器件响应测量时间以及5.4 fs的超低等效时钟抖动。结合所提出的数字信号处理算法,该系统对两个商用宽带电放大器的频率响应特性进行了测量,测得的频响曲线与器件指标高度一致。相比于传统网络分析仪,所提出的器件表征系统的测量速度至少提高了三个数量级。2.提出并验证了一种基于差分探测和光学时间拉伸技术的瞬时频率测量系统,可以对多频信号进行实时测量。仪器通过差分探测消除了由于脉冲光源光谱不均匀引起的待测信号失真,同时有效提高了系统的测量精度和动态范围。通过使用数字信号处理算法,该系统以100 MHz的采集速度,实现了3~20 GHz范围内单/多频信号测量,其频率分辨率为82.5 MHz,且测量误差不超过70 MHz。3.提出并验证了一种基于保偏光子晶体光纤Sagnac干涉仪和波长-时间映射原理的实时应力解调系统,可以实现超快、对温度不敏感的应变测量。该系统的原理是将经过干涉仪频谱整形后的脉冲光源光谱映射到时域,将应变引起的波长偏移测量转换为时移测量,相比于使用光谱仪进行频域解调的传统方案,大大提高了系统的解调速度,实现了100 MHz的超快解调速率以及-0.17 ps/με的应变灵敏度。4.提出并验证了一种基于单模-两模-单模光纤梳状滤波器和波长-时间映射原理的实时应力解调系统。该自制滤波器通过将两模光纤与单模光纤进行偏芯熔接而制成,具有制作简单、波长间隔可调等优点,且滤波器在系统中被同时用作光谱整形器和传感元件。波长-时间线性映射通过使用色散元件实现,经滤波器整形后的光谱被映射到时域,从而可以通过测量时移大小在时域解调应变。系统在100 MHz的超快解调速率下,实现了0.3 ps/με的应变灵敏度以及167με的应力分辨率,并且该自制传感器在实验中表现出较低的热敏性,为1.35 pm/℃,使该系统可作为实现超快、稳定应力解调的理想选择。

朱远洋[2](2021)在《基于图像的浊液浓度检测方法研究及应用》文中研究指明浊液是一种常见的分散系,包含悬浊液和乳浊液。浊液成分分析在食品、环境、工业、医药等领域有着重要应用。针对现有化学分析法、光学吸收法等浊液浓度测量方法存在测量时间长、对操作人员的专业性要求高、价格昂贵、不利于移动性快速检测等问题。采用数字摄像头代替传统的光电检测系统,结合图像处理、数据分析技术和神经网络算法,进行图像特征提取和模型建立,实现基于图像的浊液浓度检测方法和装置,并应用于浊度测量和牛奶成分分析。本文主要内容如下:(1)基于颜色分量提取和分析方法,对散射和透射模式下的浊液图像进行分析,设计了基于850 nm近红外的双摄像头测量装置和浊液图像分析软件,搭建了水质浊度测量系统。通过分析样品浊度与不同色彩空间中不同颜色分量的关系,结合偏最小二乘法,建立了浊度检测模型。经过对比分析,最佳的散射比透射亮度检测模型的平均绝对百分比误差(MAPE)为0.83%。(2)采用透射方式建立了可见光摄像头和近红外摄像头的测量装置。基于对样品溶液的图像亮度、色差和浊度数据分析,分别建立了可见光和近红外光的亮度、色差的浊度检测模型。对所提出的模型进行对比分析,并提出“可见光-近红外”融合测量模型。所选模型与商业浊度仪测量结果的相关性都高于0.999,融合模型的MAPE在1.05%以内,均方误差(MSE)为1.14。(3)在水质浊度测量的基础上,研究图像法在牛奶成分分析中的应用。设计了一种基于近红外宽带发射器(650–1050 nm)和异形比色皿的牛奶成分分析系统。采用灵敏度范围为700–1100 nm的近红外摄像头获取牛奶的散射、透射和色散的光学信息图像。使用图像边缘检测算法和梯度提升决策树(GBDT)算法建立了蛋白质和脂肪检测模型。通过测试得到蛋白质模型的MAPE为0.59%,测量误差为±0.02%,脂肪模型的MAPE为1.00%,测量误差为±0.04%。

贾镜材,钟业奎,张泽展,姜晶,王超[3](2021)在《集成电路制造过程中的晶圆温度监测技术》文中研究指明随着集成电路的不断发展,低功耗与小面积逐渐成为芯片设计中的重要指标,促使形成电路的器件尺寸不断降低。在半导体芯片制造过程中,越小的器件尺寸对工艺过程中温度控制的精度要求越高,晶圆温度的轻微偏离和高于1%的温度不均匀性将会直接影响最终产品的良率。为实现温度与温度场分布的高精度控制,需要对其进行更为精确的预先检测与实时获取,集成电路制造中的晶圆温度监测技术应运而生。围绕接触式和非接触式两大测温技术分支,介绍了监测温度范围为0℃~1 300℃的晶圆温度监测技术原理。本文基于原理分析各技术所具有的优势与仍然不能满足的测温技术要求,追踪各测温技术的国内外发展现状,展望了未来晶圆温度监测技术的发展方向。

徐超[4](2020)在《基于线阵CCD与ARM的多波长计设计》文中指出光电检测在一般化学分析、DNA测序、生物学、化学有害物质检测等领域有重要应用。其中光谱仪是一种应用很广的光电检测设备,被誉为光学领域的示波器。光谱仪原理大都是采用CCD式光栅光谱仪和扫描式快速傅里叶变换光谱仪。傅里叶变换光谱仪是基于迈克尔逊干涉仪结构。相比于其他的光谱仪它具有扫描速度快、波数准确度高、光谱范围宽、结构简单的优点。傅里叶变换光谱仪涉及到光谱学、干涉学、调制解调技术和嵌入式技术等多个学科,被世界公认为分光技术最优越的光谱仪。傅立叶变换光谱技术从上世纪70年代以来发展非常迅速,随着半导体芯片制造技术的发展,数字信号处理技术(DSP)和模数转换技术越来越成熟。由于AD采样之前的硬件结构是通用的超外差接收机结构,而AD采样后仪器具体实现的功能,完全取决于软件程序,程序算法在这之后就起到了主导作用,也就是说通过可靠高效的软件算法,可以保证光谱的测量的精准度。本课题主要研究利用迈克尔逊干涉仪光路获得两个不同波长激光的干涉条纹,采用线性CCD对干涉条纹进行数字化采集,使用ARM芯片对数据进行快速傅里叶变换。硬件结构方面采用了静态CCD模式,而不是采用目前傅里叶变换光谱仪大都采用的机械扫锚式,很好的避免了因机械运动产生的整体实验装置上的误差。另外为了使实验装置更能符合产业市场需求,硬件选型上采用的避繁就简的原则,在不影响实验结果精度的前提下选择了最经济实用的电路硬件。系统主控芯片采用ST公司生产的STM32F407ZGT6,这款芯片时基于Cortex TMM4F内核运算速度快,功能强大。完全可以承担AD采集数据的快速傅里叶变换的计算。显示模块采用迪文公司生产的串口触摸显示屏,通过串口数据就可以显示出数据进行人机交互,很大程度上节省了主控制器的内存使用,提高程序效率,线性CCD模块使用TOSHIBA公司生产的TCD1304AP型号芯片。

王华[5](2020)在《KA半导体公司发展战略研究》文中认为随着科技进步和经济发展,全球半导体产业沿着摩尔定律持续推进,不断刷新着物理极限,整体维持高速发展。进入2019年,逐步成熟的5G技术将加速人工智能、物联网、自动驾驶等行业的发展,为半导体产业发展提供更为广阔的应用前景;同时,国际贸易摩擦不断,作为高科技行业的半导体是贸易争端的主要行业之一,不可避免地受到了冲击。为了实现可持续发展,企业必须重新确定发展战略,以更好地适合其所面临的内外部环境。论文以KA半导体公司为研究对象,运用文献研究、调查研究、定性分析等研究方法,分析了KA半导体公司的发展现状、面临问题并制定解决措施。论文首先阐述了研究背景和意义,对国内外研究现状进行综述,并运用企业战略管理相关理论阐释了论文的理论基础;其次,详细剖析了KA半导体公司的内外部环境,主要包括企业现状和资源、外部宏观环境、行业竞争环境等,为KA半导体公司制定发展战略奠定基础;再次,基于KA半导体公司内外部环境分析,通过SWOT分析,论文提出KA半导体公司主要采用SO战略,具体从研发创新、收购创新两个方面制定实施策略,细化财务资源、知识产权、人力资源以及技术硬件等保障措施。从而确保公司争取保持自身产品在行业的领先地位和市场占有率,进而谋求更长远的发展。

罗民[6](2020)在《基于SOA的连续波单波长与多波长环形腔光纤激光器》文中指出光纤激光器具有理想的光束质量、超高的转换效率、高稳定性以及体积小等诸多突出优点,在光通信系统、光纤传感器网络、光谱学和光信息处理等方面均得到了广泛应用。近年来,半导体光放大器(SOA)以其体积小、重量轻、功耗低、易于与其它光学元件集成等优点而备受关注,基于SOA的光纤激光器的研究也逐渐成为了各课题组研究的热点。本文对基于半导体光放大器(SOA)的连续波单波长与多波长环形腔光纤激光器以及SESAM对起振模式数的压缩效应进行了研究。主要研究内容如下:1、研究了不同注入电流情形下,InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器的自发辐射特性。在一定注入电流和工作温度时,InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器的自发辐射线型函数可用高斯函数描述。当注入电流逐渐增加时,InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器自发辐射峰值功率逐渐达到饱和,这是由于增益饱和引起的。同时,自发辐射中心波长随着注入电流的增加而向短波方向移动,当注入电流从50 mA增加到350 mA时,中心波长从1568.6 nm移动到1540.75 nm,带宽从49.2 nm增加到82.5 nm,这是由于InP/InGaAsP多量子阱半导体激光物质随着激励增强自发辐射效应增强及其温度特性的缘故。2、提出半导体可饱和吸收镜(SESAM)对InP/InGaAsP多量子阱半导体自发辐射的压缩。当半导体光放大器的注入电流为100 mA、150 mA、200 mA、250 mA以及300 mA时,压缩带宽分别为1.22 nm、3.2 nm、4.85 nm、5.97 nm以及6.9 nm。在InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器作为增益介质的激光器系统中,SESAM的压缩效应可能会减少该系统的起振模式数。3、提出并实验研究一种基于InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器的光纤环形腔激光器,该激光器利用InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器作为增益介质,并以光纤Bragg光栅作为波长选择器。研究结果表明,当半导体光放大器的注入电流为100 mA时,光纤Bragg光栅工作为23℃时,获得中心波长为1549.66 nm,平均输出功率约为-5 d Bm,信噪比大于45 d B的稳定激光输出。所得激光器的阈值电流为78 mA,电-光斜效率为1.1%。当光纤Bragg光栅温度从8℃增加到28℃时,激光器的输出激光中心波长从1549.27 nm增加到1549.59 nm,漂移仅为0.32nm,说明该激光器有良好的温度稳定性。4、提出并实验研究一种新型的基于InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器的双波长连续波环形腔光纤激光器结构。该结构利用InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器作为增益介质以及两个控制温度的次联的相同光纤Bragg光栅(FBG1和FBG2)作为波长选择器。当半导体光放大器的注入电流为120 mA,FBG1和FBG2工作在5℃和25℃时,观察到波长为1549.56 nm和1549.18 nm的双波长起振,信噪比均大于45 dB。通过调节FBG1的温度可实现双波长调谐,可调谐范围为0.6nm。并用Optisystem软件仿真微波信号的产生,得到频率为22.5 GHz~74.9 GHz范围内的可调微波信号,其温度变化系数约为2.10 GHz/℃。最后,利用两个温度系数分别为0.106 nm/℃和0.108 nm/℃的两个外腔注入激光器得到可调谐环形腔激光器,当两种注入DFB激光器的工作温差从5℃到25℃变化时,波长间距可在0.68~2.95 nm之间进行调谐。5、实验研究了SESAM对基于半导体光放大器连续波多波长环形腔光纤激光器的影响。在无SESAM的情况下,当注入电流小于115 mA时,获得了1573.81 nm和1578.09 nm的双波长激光输出,边模抑制比为30 d B。当注入电流增加到115 mA时,1582.37 nm处的第三模式开始起振,在1573.81 nm、1578.09 nm和1582.37 nm处获得稳定的三波长激光输出。在有SESAM的情况下,由于SESAM压缩振荡模数,在1560.91 nm和1564.12 nm处实现了稳定的双波长激光。

刘佳[7](2020)在《微型低功耗星载光纤光栅传感解调系统及关键技术研究》文中研究说明随着航天技术的迅猛发展,航天飞行器结构健康监测和智能化发展需求迫在眉睫,传统基于热敏电阻和应变片的环境监测方法已经无法满足大容量、轻重量和低功耗的星载结构健康监测的要求。光纤光栅传感技术具有抗电磁干扰、尺寸小、成本低等特点,在航天领域具有广泛的应用。针对航天应用中光纤光栅传感解调技术的微型化及低功耗等诸多技术难点,开展基于调制光栅Y分支(MG-Y)可调谐半导体光源的微型低功耗星载光纤光栅传感解调系统研究。论文主要研究内容包括:1.研究了光纤布拉格光栅温度和应变传感原理及传感系统组成,为波长型解调方法提供理论基础。为了解决星载环境微型、低功耗、大容量的光纤光栅应用受限问题,分析了常用光纤布拉格光栅解调及复用技术的各种方案,确定了可应用于航天领域的基于可调谐半导体光源的解调方法。2.研究了可调谐半导体激光器的结构及控制方法,采用单片可集成、调谐速度快,解调容量大的电调谐半导体激光器为解调系统光源。在对MG-Y可调谐控制原理论述基础上,通过对构造的两种星载光纤传感解调技术分析,提出了1*N耦合器的空/波分复用可调谐光源法解调方法;通过对可调谐光源与不同谱形FBG的作用机理研究,确定了解调仪的基本参数和波长计算公式。提出了一种采用波长计的光谱测量的表征方法,构建了“波长-电流”精确对应关系研究方案,解决了多调谐节MG-Y光源的查找表的难点。3.针对多调谐节激光器光源的电流控制问题,开展了MG-Y激光器光源解调仪的微型、低功耗和高精度控制方法研究,提出了一种基于ARM的四通道FBG解调方法。利用ARM芯片控制单片集成恒流源控制系统和高精度温度控制系统,实现扫描光源的高分辨率高稳定输出;进一步分析光电采集模块响应范围,设计了宽动态范围的基于对数放大器的光电采集系统;并对系统电源、串口通信电路进行设计,研制出适用于星载环境的FBG解调仪。4.提出了基于MG-Y光源的解调软件系统方案,对ARM嵌入系统下的底层驱动软件功能进行研究,实现了“波长-电流”查找表的快速筛选和FBG反射信号的快速采集;针对传统解调算法耗费资源多、波长跳动和光源不稳定引起波长精度低问题,提出了基于嵌入式硬件系统的动态阈值-双质心算法、上位机DGA算法和基于F-P标准具的校正方法,提高了波长解调精度和稳定性,改善了测量精度,实现了低功耗、宽动态范围下的高精度解调。5.建立了FBG解调实验平台,完成了光栅解调仪性能实验验证,分别对超短FBG、保偏FBG、芯包复合FBG、FBG光栅阵列的光谱特性进行测试。针对航天领域应用需求,采用800nm飞秒脉冲激光分别制备了上述不同反射谱形的光纤光栅,并对其温度和纵向拉伸传感特性进行测试,所研制的解调仪实现了对波长漂移的精确解调。本论文开展了可调谐扫描光源法的FBG波长解调技术研究,研制了基于MG-Y可调谐半导体光源的微型低功耗光纤光栅解调仪。通过对不同反射谱形飞秒刻写光纤光栅传感特性进行测试,满足了微型低功耗星载光纤光栅传感解调系统要求。为解决航天结构健康检测的安全、高效、智能感知提供了新的技术手段。

陆洋[8](2019)在《基于飞秒激光的相干扫描表面形貌测量技术研究》文中研究表明飞秒激光作为本世纪最受关注的技术之一,为精密测量领域时空分辨力的提升提供了突破性的新方法和新技术。这主要体现在两个方面:(1)飞秒激光的脉冲重复频率可以溯源至原子钟频率基准,将脉冲与脉冲之间的空间距离精度锁定到原子跃迁的共振频率稳定性上,利用这绝对精确的距离作为一把标尺去测量几何量可以达到超高的空间分辨力;(2)飞秒激光的脉冲宽度为10-15s量级,该时间尺度在宇宙大统一作用力崩解与电弱对称崩解的时间之间,利用单个飞秒脉冲对物理现象进行曝光捕获,可以达到超高时间分辨力。本文以实现精密表面形貌测量中的超高时空分辨力为任务,开展了基于飞秒激光的静态表面和动态表面形貌测量理论和方法研究。论文的主要工作总结如下:1)开展了飞秒激光光源相干性定量测量方法研究。测量结果表明,光纤飞秒激光光源具有高空间相干性和低时间相干性。基于飞秒激光搭建的干涉系统可以消除寄生噪声条纹对测量的影响,验证了飞秒激光对提高光学干涉成像测量视场和条纹分辨力的可行性。2)提出了基于低相干扫描的大视场粗糙表面形貌测量方法。根据飞秒激光的相干特性,分析了飞秒激光相干扫描干涉理论,研究了干涉条纹的零级条纹识别算法。针对粗糙表面,提出了光强偏振调制的技术,保证了干涉对比度,以粗抛光中的巨型麦哲伦望远镜镜面碳化硅基板为例,实现了高精度、大视场粗糙表面的三维形貌测量。3)搭建了基于飞秒激光重复频率扫描的多目标表面形貌并行测量系统并彻底解决了在线测量精度溯源问题。利用溯源至原子钟的飞秒激光重复频率扫描,进行不同干涉仪站点中不同级脉冲之间的扫描干涉并实现了多个表面形貌测量,完成了从空间测量精度到频率测量精度的转化,彻底解决了现有相干扫描干涉垂直分辨力难以溯源以及难以实现并行检测等问题。利用所搭建的系统对硅晶片和量块进行了纳米精度的表面形貌测量,验证了该方法的高测量精度和在线并行检测能力。4)研究了光纤飞秒激光脉冲数字全息干涉测量方法。基于飞秒激光超短脉冲宽度特性,将单脉冲成像技术与数字全息干涉技术相结合,实现了动态表面形貌测量的超高时间分辨力。利用脉冲飞行时间与相机曝光时间的同步匹配对被测目标进行曝光和成像,深入研究了低重复频率飞秒激光放大的ASE干涉成像噪声抑制技术,并进行了不同方法对比和技术特点总结。以反射式离轴数字全息干涉系统为例,实现了声致薄膜振动的动态表面进行测量。5)结合泵浦探测技术,提出了基于单脉冲数字全息干涉的平面光声波瞬时测量方法。研究了光声波激发及传播原理,分析了热扩散和压力扩散限制对光声成像的要求,设计并搭建了透射式单脉冲数字全息泵浦探测系统,对飞秒激光泵浦激发丙酮溶液的瞬时光声波进行测量。和传统光声波测量方法相比,该测量方法无需区域扫描或电子噪声平均化,具有理想的图像对比度,首次实现了光声波超高时间分辨力和高空间分辨力的二维平面表征。

张东亮,杨凝,刘大川,林霄,王伟平,丁子瑜,胡小燕,汪志强[9](2019)在《硅基异质集成化合物半导体技术新进展》文中指出随着摩尔定律即将走向尽头,以及军民电子信息系统对多功能集成、高密度集成、小体积重量、低功耗、大带宽、低延迟等性能的持续追求,将多种化合物半导体材料体系(如GaN、InP、SiC等)的功能器件、芯片,与CMOS集成电路的芯片进行异质集成的技术正在拉开序幕,将在微电子、光电子等领域带来一场新的革命,硅基异质集成也被认为是发展下一代集成微系统的技术平台。本文梳理了射频微电子学与硅光子学领域中以化合物半导体为主的材料(或芯片)与硅半导体材料(或芯片)异质集成的最新进展,以期国内相关领域研究人员对国外的进展有一个比较全面的了解。

田野[10](2018)在《新型硅基光子器件的研究》文中研究表明由于芯层与包层之间较大的折射率差,硅基光子器件拥有着非常紧凑的尺寸,可以实现高密度的集成。通过将各分立器件连接,形成硅基光子环路芯片,可以实现更复杂的功能,如光收发、光模数转换以及信噪比监测等。这类型芯片有着高性能、低功耗、高集成度以及CMOS工艺兼容等特点,是未来集成光学的主要发展方向之一。本论文重点开展了对新型硅基光子器件的研究,如光偏振分束器、光功率耦合器、全光量化器等。主要的研究内容和成果如下:1、提出了一种基于SOI平台的超宽谱高性能偏振分束器。该分束器为非对称定向耦合结构,由一根70nm刻蚀的锥形波导以及一根狭缝波导所组成。对于TM模,两波导之间满足相位匹配条件,可以进行有效地耦合;对于TE模,由于波导之间相位不匹配,因此无法耦合。基于该原理,器件在S、C、L波段范围内有着良好的分光特性。测试结果表明,该器件在1550nm波长处针对TE模和TM模的偏振消光比分别为30dB和40dB,而插损仅为-0.17dB以及-0.22dB。此外,该器件偏振消光比在20dB以及25dB以上的波长范围分别达到了 175nm和120nm,是目前报道中工作带宽最宽的一款偏振分束器。器件的制作用到了两步刻蚀,刻蚀深度分别为70nm和220nm,且器件对尺寸变化不敏感,可以通过商业流片进行制作。2、提出了一种新型的1X3可调分光比耦合器。通过级联MMI耦合器,并调节第一级MMI的结构尺寸,可以使输出光场发生变化,从而改变分光比。与其它1X3功率耦合器相比,该类型器件拥有更小的尺寸,且工作带宽达到了60nm以上;由于采用了一步刻蚀工艺,该器件的制作比较简单。此外,该器件还拥有着较大的制作工艺容差。测试结果表明,器件的分光比调节范围覆盖1:0.67:1至1:18:1,且插损小于-1dB,同时工作带宽达到了50nm以上。在1550nm波长处,该器件的插损可达-0.2dB左右。3、提出了基于4×4MMI和级联MMI结构的全光量化器。其中,对4 X 4MMI进行了设计、制作与测试。测试结果表明,在1550nm波长处,四个输出端口之间的最大不平衡度在1dB以内,且利用两个输出端口实现了 1.853bit的有效量化。为了进一步减小量化器损耗,又提出了一种基于级联MMI结构的全光量化器。该类型量化器拥有奇数个量化通道,且尺寸较小。通过仿真,该类型量化器实现了3bit和5bit的有效量化。此外,这两款量化器的尺寸均在200μm以下,在1550nm波长下的插损均小于-0.5dB。该类型量化器制作工艺简单,对结构和波长的变化不敏感,性能也比较稳定。

二、集成半导体芯片的多波长传感器(论文开题报告)

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

三、集成半导体芯片的多波长传感器(论文提纲范文)

(1)基于超快光学技术的实时测量系统研究(论文提纲范文)

致谢
摘要
ABSTRACT
1 绪论
    1.1 引言
    1.2 超快光学技术简介
        1.2.1 色散傅里叶变换在实时测量中的优势
        1.2.2 光学时间拉伸技术在测量高速信号中的优势
    1.3 基于超快光学技术的实时测量系统及研究进展
        1.3.1 超快实时成像系统
        1.3.2 实时光谱测量系统
        1.3.3 实时传感系统
    1.4 本论文的结构安排
2 超快光学技术理论与涉及的关键器件
    2.1 色散傅里叶变换原理
        2.1.1 色散傅里叶变换的实现条件
        2.1.2 色散傅里叶变换的数学表达
    2.2 光学时间拉伸技术原理
        2.2.1 光学时间拉伸系统中的映射关系
        2.2.2 光学时间拉伸过程的数学表达
        2.2.3 光学时间拉伸系统中的非线性效应
    2.3 超快光学技术中涉及的关键器件
        2.3.1 用于产生超快激光的脉冲光源
        2.3.2 马赫-曾德尔调制器
        2.3.3 模数转换器以及光子时间拉伸模数转换器
    2.4 本章小结
3 基于光学时间拉伸技术的实时器件表征
    3.1 引言
    3.2 基于相位分集的实时器件表征原理
        3.2.1 脉冲响应和频率响应
        3.2.2 单电极双输出马赫-曾德尔调制器
    3.3 基于光学时间拉伸原理的待测器件实时表征系统实验方案
        3.3.1 系统结构
        3.3.2 相位分集仿真
    3.4 待测器件响应的数字信号处理
        3.4.1 时间序列分割和帧对齐
        3.4.2 包络修正与脉冲响应定位
        3.4.3 Tikhonov正则化
    3.5 实验结果与讨论
        3.5.1 相位分集测试
        3.5.2 电放大器频率响应测试
        3.5.3 讨论
    3.6 本章小结
4 基于差分光学时间拉伸技术的瞬时频率测量
    4.1 引言
    4.2 差分光学时间拉伸技术实现原理
        4.2.1 双输出推挽式马赫-曾德尔调制器
        4.2.2 差分光电探测
    4.3 瞬时频率测量系统结构
    4.4 实验结果与讨论
        4.4.1 单音信号测量
        4.4.2 双音信号测量
        4.4.3 讨论
    4.5 本章小结
5 基于频谱整形和频时映射原理的实时应力传感系统
    5.1 引言
    5.2 频谱整形和频时映射原理
    5.3 基于由PM-PCF构成的Sagnac干涉仪和频时映射原理的实时应力解调系统
        5.3.1 保偏光子晶体光纤
        5.3.2 光纤Sagnac干涉仪原理
        5.3.3 基于PM-PCF的 Sagnac干涉仪原理与制作
        5.3.4 基于PM-PCF的 Sagnanc干涉仪用于实时应力解调的系统结构
        5.3.5 实验结果与分析
    5.4 基于单模-两模-单模光纤滤波器和频时映射原理的实时应力解调系统
        5.4.1 少模光纤
        5.4.2 光纤M-Z干涉仪原理
        5.4.3 单模-两模-单模光纤滤波器原理与制作
        5.4.4 基于自制单模-两模-单模光纤滤波器的实时应力解调系统结构
        5.4.5 实验结果与分析
    5.5 本章小结
6 总结与展望
    6.1 本论文的研究内容与成果
    6.2 下一步拟进行的工作
参考文献
附录 A 缩略语
作者简历及攻读博士学位期间取得的研究成果
学位论文数据集

(2)基于图像的浊液浓度检测方法研究及应用(论文提纲范文)

摘要
abstract
第一章 绪论
    1.1 研究背景和意义
        1.1.1 研究背景
        1.1.2 研究意义
    1.2 国内外研究现状
        1.2.1 化学分析法
        1.2.2 光学吸收法
        1.2.3 其他测量方法
        1.2.4 图像特征法
    1.3 本文主要研究内容和方法
    1.4 论文结构和技术路线
        1.4.1 论文结构
        1.4.2 技术路线
第二章 相关理论及方法
    2.1 浊液浓度光学测量原理
    2.2 数字摄像头的成像原理
    2.3 颜色分量提取方法
        2.3.1 CIE Lab颜色空间转换算法
        2.3.2 灰度空间转换算法
        2.3.3 色差算法
    2.4 图像特征提取方法
        2.4.1 卷积层
        2.4.2 激活层
        2.4.3 池化层
    2.5 梯度提升决策树算法
    2.6 本章小结
第三章 基于图像颜色分量的水质浊度检测系统
    3.1 水质浊度测量系统的设计
        3.1.1 测量系统的总体框架
        3.1.2 光源及驱动电路
        3.1.3 数字摄像头
        3.1.4 浊度分析软件
    3.2 透射和散射式检测的对比分析实验
        3.2.1 实验结果与数据
        3.2.2 有效颜色分量的浊度检测模型
        3.2.3 测量系列标准浊度的对比实验
        3.2.4 实际样本的对比测量
        3.2.5 分析和讨论
    3.3 可见光和近红外光检测的对比分析实验
        3.3.1 全量程(0–1000 NTU)模型的对比实验
        3.3.2 低浊度(0–100 NTU)模型的对比实验
        3.3.3 高浊度(100–1000 NTU)模型的对比实验
        3.3.4 实际水样的对比测量
        3.3.5 分析和讨论
    3.4 本章小结
第四章 基于图像边缘特征的牛奶成分分析系统
    4.1 牛奶成分分析系统的设计
        4.1.1 分析系统的总体设计
        4.1.2 近红外宽带数字摄像头
        4.1.3 光源及其驱动电路
        4.1.4 牛奶成分分析软件
    4.2 特征提取与实验数据
    4.3 图像法牛奶成分检测模型的建立
        4.3.1 模型评价指标
        4.3.2 牛奶成分检测建模与参数调整
    4.4 模型测试结果与分析
        4.4.1 蛋白质模型的测试
        4.4.2 脂肪模型的测试
        4.4.3 牛奶成分分析系统的测试
    4.5 本章小结
第五章 总结与展望
    5.1 主要研究成果与意义
    5.2 主要创新点
    5.3 不足之处和进一步展望
参考文献
攻读硕士学位期间出版或发表的论着、论文
致谢

(3)集成电路制造过程中的晶圆温度监测技术(论文提纲范文)

0 引 言
1 接触测温方式
    1.1 电阻式
    1.2 热电偶式测温
    1.3 荧光测温
    1.4 晶体管测温
    1.5 小 结
2 非接触测温方式
    2.1 辐射测温
    2.2 红外透射测温
    2.3 反射率测温
    2.4 椭圆偏振法
    2.5 激光干涉
    2.6 声学法
    2.7 红外成像测温
    2.8 小 结
3 结 论

(4)基于线阵CCD与ARM的多波长计设计(论文提纲范文)

摘要
Abstract
第1章 绪论
    1.1 课题背景及意义
    1.2 波长测量方法概述
    1.3 国内外发展现状
    1.4 本文主要研究目的和主要内容
第2章 方案设计
    2.1 迈克尔逊干涉仪原理
    2.2 干涉光路设计
    2.3 电路部分原理简介
    2.4 电路模块分析
        2.4.1 线性CCD模块特征分析
        2.4.2 CCD传感器选型说明
        2.4.3 STM32F407芯片功能分析
        2.4.4 迪文串口触摸显示屏简介和使用
    2.5 本章小结
第3章 电路设计
    3.1 系统供电
    3.2 CCD传感器信号转换电路
    3.3 信号连接
    3.4 本章小结
第4章 软件设计
    4.1 程序驱动模块
        4.1.1 Cortex TM-M4F内核
        4.1.2 单片机模块
        4.1.3 CCD驱动方法
        4.1.4 串口显示屏驱动
        4.1.5 FFT计算方法
    4.2 程序结构
        4.2.1 程序初始化
        4.2.2 CCD传感器驱动程序
        4.2.3 ADC数据存储
        4.2.4 DSP程序计算处理
        4.2.5 程序运算时间
    4.3 本章小结
第5章 系统测试与数据分析
    5.1 光路的搭建
    5.2 测量数据分析
    5.3 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士期间的科研成果
致谢

(5)KA半导体公司发展战略研究(论文提纲范文)

摘要
Abstract
1 绪论
    1.1 研究背景和意义
        1.1.1 研究背景
        1.1.2 研究意义
    1.2 文献综述
        1.2.1 国外研究现状
        1.2.2 国内研究现状
        1.2.3 现有研究的不足
    1.3 理论基础和研究方法
        1.3.1 理论基础
        1.3.2 研究方法
    1.4 研究内容
2 KA半导体公司现状及外部环境分析
    2.1 KA半导体公司现状
    2.2 KA半导体公司面临的宏观环境分析
        2.2.1 政治环境
        2.2.2 经济环境
        2.2.3 社会文化环境
        2.2.4 技术环境
    2.3 全球半导体行业分析
        2.3.1 全球半导体行业现状
        2.3.2 全球半导体行业发展趋势
    2.4 半导体行业竞争状况五力分析
        2.4.1 现有竞争者
        2.4.2 新进入者威胁
        2.4.3 供方议价能力
        2.4.4 买方议价能力
        2.4.5 来自替代品的压力
        2.4.6 五力分析小结
3 KA半导体公司内部环境分析
    3.1 KA半导体公司资源分析
        3.1.1 有形资源
        3.1.2 无形资源
        3.1.3 人力资源
    3.2 KA半导体公司能力分析
        3.2.1 盈利能力
        3.2.2 研发能力
    3.3 KA半导体公司销售模式和收入分布
        3.3.1 销售模式
        3.3.2 收入分布
4 KA半导体公司发展战略制定与实施
    4.1 KA半导体公司发展战略SWOT分析
        4.1.1 优势
        4.1.2 劣势
        4.1.3 机会
        4.1.4 挑战
        4.1.5 SWOT分析小结
    4.2 KA半导体公司发展目标及战略制定
        4.2.1 KA半导体公司发展战略目标
        4.2.2 KA半导体公司发展战略制定
    4.3 KA半导体公司发展战略实施
        4.3.1 开展研发创新工作
        4.3.2 收购战略实施
5 KA半导体公司发展战略实施保障措施
    5.1 财务资源保障
        5.1.1 研发资金保障
        5.1.2 严控收购资金风险
    5.2 知识产权保障
        5.2.1 将基础专利放在首要地位
        5.2.2 积极进行专利布局
    5.3 人力资源保障
        5.3.1 设立完整的研发人员奖励制度
        5.3.2 建立专业技术人员梯队
        5.3.3 加强专业技能的培训
    5.4 技术及硬件保障
        5.4.1 技术引入
        5.4.2 硬件保证
结论
参考文献
附录A KA半导体公司产品明细表
致谢

(6)基于SOA的连续波单波长与多波长环形腔光纤激光器(论文提纲范文)

摘要
Abstract
第1章 绪论
    1.1 研究背景
    1.2 InP/InGaAsP多量子阱半导体材料的研究现状
    1.3 双波长光纤激光器的研究现状
    1.4 多波长光纤激光器的发展现状
    1.5 本文的研究内容
第2章 SESAM对 SOA增益介质自发辐射谱的压缩
    2.1 半导体光放大器的光放大原理
    2.2 半导体可饱和吸收镜(SESAM)工作原理
    2.3 InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器的自发辐射
    2.4 SESAM对 InP/InGaAsP多量子阱半导体光放大器的自发辐射谱的压缩
    2.5 本章小结
第3章 基于SOA的单波长环形腔光纤激光器
    3.1 光纤Bragg光栅的透射特性的理论研究与仿真
    3.2 光纤Bragg光栅的输出特性实验研究
    3.3 基于SOA的单波长环形腔光纤激光器理论分析
    3.4 基于SOA的单波长光纤环形腔激光器的输出特性
    3.5 本章小结
第4章 基于SOA的可调谐双波长环形腔激光器
    4.1 基于SOA的双波长环形腔激光器的输出特性
    4.2 基于SOA的双波长环形腔激光器的微波信号的产生
    4.3 基于SOA的外腔注入DFB激光器的可调谐双波长激光器
    4.4 本章小结
第5章 SESAM对基于SOA的多波长环形腔光纤激光器的影响
    5.1 基于SOA的环形腔光纤激光器起振模式的理论研究
    5.2 基于SOA的连续波多波长环形腔光纤激光器
    5.3 SESAM 对多波长环形腔光纤激光器起振模式的压缩
    5.4 本章小结
第6章 工作总结与展望
致谢
参考文献
个人简介

(7)微型低功耗星载光纤光栅传感解调系统及关键技术研究(论文提纲范文)

致谢
摘要
abstract
第一章 绪论
    1.1 研究背景及意义
    1.2 国内外研究现状
        1.2.1 光纤光栅传感在航天监测领域的发展
        1.2.2 光纤光栅解调系统在航天领域的应用需求
    1.3 光纤光栅传感技术
        1.3.1 光纤光栅耦合模理论
        1.3.2 光纤布拉格光栅传感原理
        1.3.3 光纤布拉格传感系统组成
    1.4 光纤光栅传感解调技术
        1.4.1 光纤光栅传感解调技术
        1.4.2 FBG复用技术
    1.5 论文研究内容
第二章 基于MG-Y可调谐光源技术研究
    2.1 可调谐半导体光源
    2.2 MG-Y型 DBR激光器
        2.2.1 激光器工作原理
        2.2.2 激光器调谐控制设计
    2.3 基于TLS的 FBG波长解调原理
        2.3.1 基于MG-Y光源的光纤传感系统研究
        2.3.2 波长解调原理
        2.3.3 “波长-电流”精确对应关系
    2.4 本章小结
第三章 基于ARM的扫描式解调技术研究
    3.1 基于ARM的 FBG微型解调系统
    3.2 解调系统恒流源控制方法
        3.2.1 TLS的电流驱动原理
        3.2.2 单片集成恒流源控制方法实现
    3.3 解调系统温度控制方法
        3.3.1 TLS的温度控制方法
        3.3.2 温度控制系统实现
    3.4 解调系统光电检测技术研究
        3.4.1 FBG光电检测原理
        3.4.2 基于对数放大器的检测电路功能实现
    3.5 供电系统及串口通信
        3.5.1 电源电路实现
        3.5.2 串口通信电路实现
    3.6 本章小结
第四章 基于MG-Y微型解调仪的光纤光栅解调算法
    4.1 基于MG-Y光源的光纤光栅解调仪软件架构
    4.2 基于ARM的底层软件实现
        4.2.1 底层驱动软件流程
        4.2.2 查找表筛选实现
    4.3 基于MG-Y解调仪FBG解调算法
        4.3.1 波长寻峰算法研究
        4.3.2 基于MG-Y解调仪FBG解调仿真及算法对比分析
        4.3.3 基于LABVIEW的 FBG解调系统实现
    4.4 解调仪的性能测试及标定实验
        4.4.1 PD动态范围测试及分析
        4.4.2 解调仪波长标定实验
        4.4.3 解调仪的性能测试及分析
    4.5 本章小结
第五章 星载光纤光栅传感解调系统实验研究
    5.1 基于MG-Y光源解调仪的USFBG的拉伸实验及分析
        5.1.1 飞秒激光逐点法制备USFBG
        5.1.2 USFBG应变传感特性分析
    5.2 基于MG-Y光源解调仪的芯包复合FBG的温度实验及分析
        5.2.1 飞秒激光逐线法制备芯包复合FBG
        5.2.2 芯包复合FBG温度传感特性分析
    5.3 基于MG-Y光源解调仪的保偏FBG的温度实验及分析
        5.3.1 飞秒激光逐点法制备保偏FBG
        5.3.2 保偏FBG温度传感特性分析
    5.4 基于MG-Y光源解调仪的级联FBG的温度实验及分析
        5.4.1 飞秒激光逐点法制备FBG阵列
        5.4.2 级联FBG温度传感特性分析
    5.5 本章小结
总结与展望
    总结
    展望
参考文献
攻读博士学位期间的学术活动及成果情况

(8)基于飞秒激光的相干扫描表面形貌测量技术研究(论文提纲范文)

致谢
摘要
abstract
第一章 绪论
    1.1 引言
    1.2 静态表面高精密形貌测量技术及其研究现状
        1.2.1 触针式表面轮廓仪
        1.2.2 非光学扫描显微镜
        1.2.3 光学相移干涉测量系统
        1.2.4 相干扫描干涉表面形貌测量系统
        1.2.5 共焦显微镜
        1.2.6 光谱分辨干涉表面形貌测量
        1.2.7 数字全息显微镜
    1.3 超高时间分辨力动态表面测量技术及其研究现状
        1.3.1 光谱成像干涉技术
        1.3.2 超快数字全息显微镜
        1.3.3 光谱时空编码成像显微镜
        1.3.4 超快空间相移干涉仪
    1.4 课题的意义和作者主要工作及创新
第二章 飞秒激光空间相干性研究
    2.1 引言
    2.2 光源空间相干性测量理论
    2.3 飞秒激光空间相干性测量系统构成
        2.3.1 分波前杨氏双缝干涉系统
        2.3.2 分振幅Michelson干涉系统
    2.4 飞秒激光相干性测量结果分析
    2.5 光源相干性对光学干涉表面形貌测量的影响分析
    2.6 本章小结
第三章 大视场粗糙表面低相干扫描形貌测量
    3.1 引言
    3.2 相干扫描干涉系统及测量理论
        3.2.1 大视场相干扫描干涉表面形貌测量系统
        3.2.2 飞秒激光相干扫描干涉理论
        3.2.3 相干扫描干涉中的零级条纹识别算法
    3.3 粗糙表面低相干干涉系统配置及光强调制
    3.4 测量结果分析
    3.5 本章小结
第四章 飞秒激光重复频率扫描多目标表面形貌测量
    4.1 引言
    4.2 测量系统构成
    4.3 飞秒激光扫频脉冲干涉原理
    4.4 光纤飞秒激光器的重复频率控制
        4.4.1 重复频率控制方法
        4.4.2 重复频率控制精度分析
    4.5 干涉系统光纤光路延时设计
    4.6 fr扫描相干干涉的表面形貌重构算法
    4.7 测量结果分析
    4.8 本章小结
第五章 光纤飞秒激光脉冲数字全息干涉技术
    5.1 引言
    5.2 单脉冲数字全息干涉方法
        5.2.1 数字全息干涉记录
        5.2.2 数字全息干涉再现
        5.2.3 数字全息再现算法
        5.2.4 单脉冲数字全息干涉
    5.3 基于声光调制器的光纤飞秒激光降频
        5.3.1 声光调制器降频工作原理
        5.3.2 声光调制降频实验结果
    5.4 低重复频率飞秒激光放大与成像噪声
        5.4.1 激光放大工作原理及自发辐射噪声
        5.4.2 ASE噪声对单脉冲干涉成像的影响
    5.5 单脉冲干涉ASE噪声的抑制方法
        5.5.1 时间平均相位调制技术
        5.5.2 相邻脉冲干涉技术
        5.5.3 串联脉冲选择技术
        5.5.4 非线性倍频技术
        5.5.5 几种ASE噪声抑制方法对比
        5.5.6 飞秒激光脉冲时间对比度测量
    5.6 声致薄膜振动动态表面测量
    5.7 本章小结
第六章 光声波的瞬时二维平面测量
    6.1 引言
    6.2 光声波激发及传播原理
        6.2.1 调制连续激光光热效应的热传导
        6.2.2 脉冲激光光热效应的热传导
        6.2.3 光传播介质内光声压与折射率的关系
    6.3 单脉冲数字全息泵浦探测系统设计
    6.4 单脉冲数字全息泵浦探测实验结果
        6.4.1 掺镱光纤激光放大器ASE噪声抑制结果
        6.4.2 泵浦探测结果
    6.5 本章小结
第七章 总结与展望
    7.1 论文的主要研究内容和创新点
    7.2 论文研究工作的进一步展望
参考文献
攻读博士学位期间的学术活动及成果情况

(9)硅基异质集成化合物半导体技术新进展(论文提纲范文)

1 引言
2 异质集成射频电子技术
    2.1 毫米波技术的发展需求与面临的挑战
    2.2 硅基异质集成射频电子技术与应用进展
3 异质集成硅基光子集成技术
    3.1 高速光传输的发展对硅基光子集成技术的需求
    3.2 异质集成硅基光子集成技术的挑战与应用进展
4 结论

(10)新型硅基光子器件的研究(论文提纲范文)

摘要
ABSTRACT
第一章 绪论
    1.1 背景简介
    1.2 硅基光子器件的基础结构
        1.2.1 硅基光波导
        1.2.2 定向耦合器
        1.2.3 多模干涉耦合器
        1.2.4 光纤-波导耦合器
        1.2.5 硅基调制器
        1.2.6 硅基探测器
    1.3 硅基集成器件的研究现状
    1.4 论文结构安排
    参考文献
第二章 硅基超宽谱偏振分束器的研究
    2.1 研究背景
    2.2 硅基光波导的理论模型
        2.2.1 波导的模式
        2.2.2 波导的模式耦合理论
    2.3 基于非对称定向耦合器的超宽谱偏振分束器
        2.3.1 器件的原理及设计
        2.3.2 器件的优化及仿真
        2.3.3 器件的制作与测试
        2.3.4 结果分析与讨论
    2.4 本章小结
    参考文献
第三章 硅基可调分光比耦合器的研究
    3.1 研究背景
    3.2 多模干涉耦合器的原理
        3.2.1 自映像效应
        3.2.2 MMI耦合器的主要性能指标
    3.3 基于级联MMI的可调分光比耦合器
        3.3.1 器件的原理及设计
        3.3.2 器件的仿真与分析
        3.3.3 器件的制作与测试
        3.3.4 结果分析与讨论
        3.3.5 器件功能扩展
    3.4 本章小结
    参考文献
第四章 基于MMI结构的全光量化器的研究
    4.1 研究背景
    4.2 MMI型全光移相量化器的主要性能指标
    4.3 基于4×4MMI的全光量化方案
        4.3.1 器件工作原理及结构设计
        4.3.2 器件仿真与性能分析
        4.3.3 4×4MMI耦合器的制作与测试
        4.3.4 量化精度扩展与分析
    4.4 基于级联MMI的全光量化方案
        4.4.1 器件工作原理及结构设计
        4.4.2 器件仿真与性能分析
        4.4.3 编码处理
        4.4.4 量化精度扩展与讨论
    4.5 本章小结
    参考文献
第五章 总结与展望
    5.1 论文工作总结
    5.2 论文工作展望
缩略词汇
致谢
攻读博士学位期间发表学术论文及专利目录

四、集成半导体芯片的多波长传感器(论文参考文献)

  • [1]基于超快光学技术的实时测量系统研究[D]. 白卓娅. 北京交通大学, 2021(02)
  • [2]基于图像的浊液浓度检测方法研究及应用[D]. 朱远洋. 淮北师范大学, 2021(12)
  • [3]集成电路制造过程中的晶圆温度监测技术[J]. 贾镜材,钟业奎,张泽展,姜晶,王超. 仪器仪表学报, 2021(01)
  • [4]基于线阵CCD与ARM的多波长计设计[D]. 徐超. 北京工业大学, 2020(06)
  • [5]KA半导体公司发展战略研究[D]. 王华. 大连理工大学, 2020(06)
  • [6]基于SOA的连续波单波长与多波长环形腔光纤激光器[D]. 罗民. 长江大学, 2020(02)
  • [7]微型低功耗星载光纤光栅传感解调系统及关键技术研究[D]. 刘佳. 合肥工业大学, 2020(01)
  • [8]基于飞秒激光的相干扫描表面形貌测量技术研究[D]. 陆洋. 合肥工业大学, 2019(01)
  • [9]硅基异质集成化合物半导体技术新进展[J]. 张东亮,杨凝,刘大川,林霄,王伟平,丁子瑜,胡小燕,汪志强. 激光与红外, 2019(01)
  • [10]新型硅基光子器件的研究[D]. 田野. 北京邮电大学, 2018(08)

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集成半导体芯片的多波长传感器
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